Холдинг "Росэлектроника" разработал технологию получения и хранения высокочистых газов

Специалисты НПП «Салют» холдинга «Росэлектроника» разработали технологии получения, хранения и транспортировки высокочистых газов. Собственное производство позволит заменить импортные материалы. Об этом сообщает пресс-служба Ростеха.

Отмечается, что высокочистые газы применяются при изготовлении современной микроэлектроники. Специалисты НПП «Салют» разработали технологии промышленного производства моносилана, арсина, фосфина, аммиака, бора трехфтористого, бора треххлористого.

«Многие специальные газы необходимого для микроэлектронной отрасли уровня чистоты в России до настоящего времени не изготовлялись», — говорится в сообщении.

Для сохранения степени чистоты газов при транспортировке и хранении баллоны перед наполнением специальным образом готовят. Решение позволяет сохранять требуемую чистоту материалов в баллонах низкого давления не менее шести месяцев, а в баллонах высокого давления — не менее 12 месяцев.

В НПП «Салют» заявили, что готовы не только производить высокочистые газы, но и увеличивать объёмы производства.

«В настоящее время наши специалисты продолжают совершенствовать технологии получения, хранения и транспортировки высокочистых газов, а также ведут разработку новых решений для получения материалов для микроэлектроники», — приводит пресс-служба слова гендиректора НПП «Салют» Александра Бушуева.