Росатом создаст первое в стране производство особо чистого гексафторида вольфрама

По госконтракту с Минпромторгом РФ научно-исследовательский институт НПО «Луч» (входит в Росатом) разработал технологию и производственную схему изготовления этого материала.

Особо чистый гексафторид вольфрама используется в микроэлектронике, например, при производстве полупроводников для осаждения металлического слоя вольфрама. Этот слой отличается высокой химической и температурной стабильностью, а также низким сопротивлением, и служит защитой для плат и схем.

Создание нового участка для производства гексафторида вольфрама в России направлено на импортозамещение, достижение технологической независимости. Как рассказали в Росатоме, страна пока не может отказаться от импорта этого вещества.

Уже изготовлены лабораторная и опытная установки сорбционной очистки вещества, завершены разработка и аттестация методик измерений газовых и металлических примесей в особо чистом гексафториде вольфрама.

Специалисты приступили к проектированию производственного участка по выпуску этого соединения. Он будет включать полную цепочку необходимого технологического и аналитического оборудования.