НИИМЭ и НИИТМ разработали важное оборудование для производства микрочипов

Фото: Минпромторг.

Установки способны обрабатывать кремниевые пластины диаметром до 300 мм, выполняя высокоточные операции, такие как нанесение тонких изолирующих пленок (оксида и нитрида кремния), плазмохимическое травление для создания наноструктур.

Ключевая особенность — работа в вакууме — заготовки для чипов обрабатываются без контакта с воздухом, что предотвращает загрязнение и значительно увеличивает количество успешно произведенных изделий.

Внедрение данного оборудования позволит модернизировать производство и станет значительным шагом к развитию полного цикла изготовления микроэлектроники в России.

Научно-исследовательский институт точного машиностроения — это старейшая отечественная школа разработки и производства специального технологического оборудования. Ключевым вектором работы НИИТМ является производство серии оборудования для обработки пластин диаметром 200 мм, совместимой с диаметрами 100 и 150 мм. НИИТМ – единственный в России разработчик кластерных комплексов и установок для обработки пластин диаметром 300 мм.

Научно-исследовательский институт молекулярной электроники - ведущий российский научно-исследовательский центр по проведению научно-технологических исследований в области микро- и наноэлектроники, разработке и производству полупроводниковых изделий. НИИМЭ проводит научные исследования и опытно-конструкторские работы по федеральным программам Минпромторга РФ, Минобрнауки РФ, ГК Роскосмос, а также инициативные работы за счет собственных средств. Работы проводятся в рамках программ по развитию элементной базы, по изготовлению кристаллов интегральных микросхем в режиме Foundry для предприятий-партнеров, а также по разработке и освоению серий интегральных микросхем и полупроводниковых приборов.

НИИМЭ и НИИТМ расположены в Зеленограде.